新型硅碳CVI炉

  该设备是我司用于通入硅烷制备新型硅碳设备，具备高密封性和均温的特点。

设备特点：

(1)该设备为鸿峰公司设备，仅应用于硅碳的气相沉积法制备

(2)该设备的使用温度不1050度

(3)该设备可以实现物料在炉内停留时间可控

(4)该设备炉管结构特殊(物料和反应气体接触均匀)

(5)该设备配置进口的质量流量计

(6)该设备配置除尘尾气处理系统

(7)该设备炉管材料可以选择金属材质或非金属材料制作

(8)该设备温控精度≤2℃

(9)该设备温控采用PLC+PID方式

(10)该设备的炉衬全部选用轻质耐火材料

(11)该设备占地面积小，能耗小，产量大